- [行业新闻]晶圆厂防静电标准:从服装到地板的全链路防护方案2025年08月21日 14:25
- 晶圆厂的生产环境对静电防护要求极高,哪怕微弱的静电放电都可能导致晶圆报废,造成巨大损失。全链路防护需覆盖从人员着装到地面设施的每个环节,美安服饰结合 SEMI 国际标准与行业实践,梳理出系统化的防静电方案。 人员防护:服装与配饰的协同标准 晶圆厂需采用 Class 100 级防静电服,面料发尘量100 个 /㎡(0.5μm 微粒),表面电阻控制在 10?-10?Ω,静电衰减时间0.1 秒。连体带帽设计配合无尘靴、导电手套,形成全封闭防护,袖口与手套重叠处需用导电胶条
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